产品介绍

的 Pura Plus 是密析尔仪表针对晶圆工业对于设备尺寸和指标的新需求变化而特殊设计的。Pura Plus 是一款在线微量湿度异动变送器，多路安装在半导体工厂内通向生产线的气体供应末端，用来监测纯惰性气体的应用。工厂内气体系统分布复杂，涉及到很多分支、节点和使用点。因此在常规的湿度监测点后，会由于微量的泄漏、低效的系统设计、元件故障或过程出错等等原因导致湿气渗入，影响下游使用。而安装在分布系统中的 Pura Plus 能够提供快速的响应指示，在 20 ppb 湿气级别下
1 ppb 的异动的响应时间小于1 分钟。

详细资料